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1.設備概況
l 設備名稱:金屬去膠清洗機????????????????????????????????????????????????????????? ?????????????????????????????????????????????????????????????? l 整機尺寸(參考):約2300mmL×1400mmW×2000mmH;
l 硅片尺寸:2寸~6寸
l 工作環(huán)境:室內放置;
l 操作形式:手動
l 重量:650Kg( 大約);
2.整機構造
l 骨架:德國進口10mmPP板,優(yōu)質不銹鋼骨架,外包3mmPP板防腐;
l 外殼:德國進口10mmPP板;
l 安全門:采用透明上下推拉門;
l 管路:管路位于下后部,以節(jié)省空間,采用英制接口;
l 滅火系統(tǒng):煙熱感應CO2自動滅火系統(tǒng)位于工作臺面上部;
l 排風:根據流體學原理設計位于機臺后上部,并配有導流和風量調節(jié)裝置;
l 工作照明:機臺上方配照明(與工作區(qū)隔離);
l 臺面板為優(yōu)質不銹鋼材質(帶有漏液孔);
l DI/N2 GUN:可伸縮的DI水槍和氣槍各2把,分置于工作區(qū)兩側;
l 人機界面:Touch Screen彩色界面;
l 支腳:有滑輪裝置和固定裝置,可調整高度和鎖定;
l 三色報警等和蜂鳴器
3.控制系統(tǒng)
l PLC可程式控制器(歐姆龍)+Touch Screen彩色人機界面操作。
l 制程參數皆采用可設定、修改;
l 操作模式可分為自動/手動/編輯/維修。
l 配有獨立配電箱,電路區(qū)進行功能分塊,強電、弱電塊,以便于維護;
l 具Password功能以避免操作人員誤改參數:
Password-1.啟動及可進入自動模式內容。
Password-2可進入編輯模式修改制程參數。
Password-3可進入手動模式。
4.安全保護
l 設備采用耐腐蝕導線并采用氟套管進行保護,防腐防水;
l 設有防漏電斷路保護裝置;
l 電控部分正壓空體保護,防水防腐;
l 設備有可靠的接地裝置及緊急關機和報警系統(tǒng);
l EMO 裝置緊急按鈕開關;
l 蜂鳴器聲鳴提示工作完成,三色報警燈及蜂鳴聲光故障報警;
l 煙熱感應CO2自動滅火系統(tǒng)位感應到煙熱后自動滅火保護;
l 機臺底部設有防漏盤及漏液感知;
l 液位異常感知/安全液位保護;
l 加熱過溫保護和防干燒;
5.工作位參數
| 工序 | 輔助 | 處理液 | 溫度 | 材質 | 蓋 | 抽風 |
1 | 超聲加熱槽 | 加熱 | 石腦油,丙酮,異丙醇 | ﹥100℃ | 316 | 有 | 有 |
2 | 超聲加熱槽 | 加熱 | 石腦油,丙酮,異丙醇 | ﹥100℃ | 316 | 有 | 有 |
3 | 超聲加熱槽 | 加熱 | 石腦油,丙酮,異丙醇 | ﹥100℃ | 316 | 有 | 有 |
4 | 超聲加熱槽 | 加熱 | 石腦油,丙酮,異丙醇 | ﹥100℃ | 316 | 有 | 有 |
5 | 超聲加熱槽 | 加熱 | 石腦油,丙酮,異丙醇 | ﹥100℃ | 316 | 有 | 有 |
6 | IPA槽 | / | IPA | RT | 316 | 有 | 有 |
7 | QDR槽 | 鼓泡+溢流 | DI水 | RT | NPP | 有 | 有 |
8 | QDR槽 | 鼓泡+溢流 | DI水 | RT | NPP | 有 | 有 |
9 | QDR槽 | 鼓泡+溢流 | DI水 | RT | NPP | 有 | 有 |
10 | QDR槽 | 鼓泡+溢流 | DI水 | RT | NPP | 有 | 有 |
11 | QDR槽 | 鼓泡+溢流 | DI水 | RT | NPP | 有 | 有 |
12 | 烘干槽 | 加熱 | 氮氣 | 60~120℃ | 316 | 有 |
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